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UV LED在線式晶圓自動(dòng)掃碼解膠機(jī)
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  • 描述

UV LED在線式晶圓自動(dòng)掃碼解膠機(jī)

UVLED解膠機(jī)是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動(dòng)解膠設(shè)備。許多晶圓半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中,需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來,然后進(jìn)行劃片加工處理,最后通過UVLED光源對(duì)固定好的晶圓切片進(jìn)行照射,使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化,從而降低與切割膜膠帶之間的粘性,從而達(dá)到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來。

UVLED解膠機(jī)解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序。


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uvled自動(dòng)掃碼解膠機(jī)的特點(diǎn)

1、 設(shè)備小巧,適合6/8/10/12寸晶圓芯片整片照射使用;

2、智能控制面板,可自由設(shè)定照射時(shí)間和功率大??;

3、照射模式,自下往上照射,方便晶圓切片放置和取出;

4、 使用壽命是普通UV汞燈的10倍以上,平均使用壽命約為20000h;

5、無需維護(hù)成本,無需頻繁更換光源照射頭;

6、采用封閉式模塊設(shè)計(jì),在線/手動(dòng)模式,可自動(dòng)錄入實(shí)時(shí)解膠數(shù)據(jù);

7、LED冷光源照射模式,具有溫度低、曝光均勻、結(jié)構(gòu)緊湊、低能耗、是半導(dǎo)體行業(yè)的理想機(jī)型,且低溫對(duì)熱敏材料無損害,是一種安全環(huán)保型產(chǎn)品。

UV解膠機(jī)在晶圓封裝行業(yè)廣泛使用,像陶瓷切割、玻璃加工等工藝都能用到紫外解膠工序,也有一些光學(xué)鏡頭、LED集成芯片、線路板等半導(dǎo)體材料UV脫膠也都可以使用到。

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